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  共面式-空氣軸承  
 
特點說明
 
  振弘所開發的空氣軸承主要是用花崗岩構件直接鑲入節流器形成空氣軸承,其優勢:  
 
  1. 精度比傳統金屬空氣軸承墊組裝之空氣軸承面較高
  2. 長期之穩定性與可靠度較傳統空氣軸承為佳
  3. 機台組裝與精度調校較容易
  4. 軸承負載能力遠超過傳統空氣軸承
  5. 機台結構較簡單,建構成本較低
  6. 在各種不同的外部供氣壓力下幾乎不會產生氣槌現象
 
 
實績案例
 
  交機實績:CHROMA  
 

XY堆疊平台

項次

規格名稱

規格內容

1

平台運動解析度

0.1μm

2

行程(XY)

300×300 mm

3

重覆精度(雙向)

≦ 0.6μm

4

左右偏擺(Yaw)

≦ 0.001°/(3.6 arcsecond) / 17μrad

5

俯仰偏擺(Pitch)

≦ 0.002°/(7.2 arcsecond) / 34μrad

6

Flatness

≦1.0 μm /300×300mm

7

Straightness

≦1.0 μm /300mm

8

速度

≧ 200㎜/s

9

允許之環境震動

VCC

 
     
   
     
 
實績案例
 
  交機實績:TSMC  
 

XY懸臂平台

 

X軸(上軸)

Y軸(下軸)

有效行程

500mm

500mm

重現精度(雙向)

≦ 1μm

≦ 1μm

直線精度

±1μm

±1μm

平面精度

±2μm

±2μm

俯仰偏擺(Pitch)

±3 arc sec

±3 arc sec

左右偏擺(Yaw)

±2 arc sec

±2 arc sec

最大速度

200mm/sec

200mm/sec

傳動元件

無鐵心式線性馬達

無鐵心式線性馬達

底座材質

花崗岩

花崗岩

線性光學尺

Renishaw_RGH22Y
(Digital/0.1μm)

Renishaw_RGH22Y
(Digital/0.1μm)

供給氣壓

0.2mPa

允許之環境震動

VCC

機架

方管焊接研磨機架

 
     
   
     
 
 
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