空氣軸承龍門雙邊驅動平台
產業:PCB印刷電路板製程:DI曝光機重點規格: 有效行程350mm×1200mm 最大速度1000mm/sec 重現精度1μm YAW < 3arc-sec 速度瀲波 200 mm/sec < 0.2 %
空氣軸承單軸平台
產業:半導體製程:高速移載取放料重點規格:有效行程400mm最大加速度10G重現精度1μm
空氣軸承XYZθ平台
產業:半導體 製程:光罩檢查機 重點規格: 有效行程500mm×500mm 平面度 < 5μm VC-C抑震等級
空氣軸承XY平台
半導體雷射加工製程 重點規格: 重複定位精度< 0.3μm / 300mm 運動直線度< 1μm / 300mm 運動平面精度< 1μm / 300mm*300mm Yaw< 1 arc sec / 300mm Pitch< 1 arc sec / 300mm 正交度< 1 arc sec / 300mm*300mm
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