空氣軸承龍門雙邊驅動平台

產業:PCB印刷電路板
製程:DI曝光機
重點規格:
有效行程350mm×1200mm
最大速度1000mm/sec
重現精度1μm
YAW < 3arc-sec
速度瀲波 200 mm/sec < 0.2 %


空氣軸承單軸平台

產業:半導體
製程:高速移載取放料
重點規格:
有效行程400mm
最大加速度10G
重現精度1μm


空氣軸承XYZθ平台

產業:半導體
製程:光罩檢查機
重點規格:
有效行程500mm×500mm
平面度 < 5μm
VC-C抑震等級


空氣軸承XY平台

半導體雷射加工製程
重點規格:
重複定位精度< 0.3μm / 300mm
運動直線度< 1μm / 300mm
運動平面精度< 1μm / 300mm*300mm
Yaw< 1 arc sec / 300mm
Pitch< 1 arc sec / 300mm
正交度< 1 arc sec / 300mm*300mm

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