空氣軸承龍門雙邊驅動平台

產業：PCB印刷電路板
製程：DI曝光機
重點規格：
有效行程350mm×1200mm
最大速度1000mm/sec
重現精度1μm
YAW < 3arc-sec
速度瀲波 200 mm/sec < 0.2 %

空氣軸承單軸平台

產業：半導體
製程：高速移載取放料
重點規格：
有效行程400mm
最大加速度10G
重現精度1μm

空氣軸承XYZθ平台

產業：半導體
製程：光罩檢查機
重點規格：
有效行程500mm×500mm
平面度 < 5μm
VC-C抑震等級

空氣軸承XY平台

半導體雷射加工製程
重點規格：
重複定位精度：< 0.3μm / 300mm
運動直線度：< 1μm / 300mm
運動平面精度:< 1μm / 300mm*300mm
Yaw：< 1 arc sec / 300mm
Pitch：< 1 arc sec / 300mm
正交度：< 1 arc sec / 300mm*300mm